[发明专利]形成具有微锯齿的高纯度熔凝二氧化硅玻璃片的激光系统和方法在审
| 申请号： | 201780050627.X | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN109661379A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | V·A·巴加瓦图拉;D·W·霍托夫;李兴华;G·E·莫兹;J·斯通三世 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B19/14 | 分类号： | C03B19/14;C03C3/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张璐;项丹 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种烧结厚度为500μm或更小的薄的高纯度熔凝二氧化硅玻璃片的系统和方法，包括在高纯度熔凝二氧化硅烟炱片上使激光束光栅化的步骤；其中，光栅化的图案包括在片材上的紧密间隔的目标位置，以在横截面上观察时，激光对烟炱进行烧结并同时在片材的第一主表面上形成小凹口，其中所述小凹口为锯齿状，使得至少一些凹口具有一般为平坦的底表面且至少一些相应的相邻冠状物具有一般为平台的顶表面，所述顶表面通过成陡峭角度的侧壁与底表面偏离。 | ||
| 搜索关键词： | 熔凝二氧化硅 高纯度 烧结 玻璃片 顶表面 光栅化 小凹口 片材 烟炱 锯齿 激光系统 目标位置 冠状物 激光束 锯齿状 主表面 凹口 侧壁 陡峭 激光 偏离 平坦 图案 观察 | ||
【主权项】：
1.一种高纯度熔凝二氧化硅玻璃片，包含：第一主表面；与第一主表面相对的第二主表面；至少99.9摩尔％的二氧化硅，其中该二氧化硅至少一般是无定形的，从而具有小于1重量％的结晶含量；以及在第一主表面与第二主表面之间的小于500μm的平均厚度；其中，在横截面中，第一主表面具有沿着第一主表面的小凹口，其中，至少十个小凹口具有：至少25nm但不超过1μm的深度，该深度相对于相应凹口的任一侧上的相邻局部冠状物中的较高者来测量，在相邻的局部冠状物之间的至少5μm的宽度，和至少500μm的长度。
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