[发明专利]压力传感器

摘要

压力传感器(1)具有受压凹部(213)与保护膜(230)。受压凹部是通过朝向沿着厚度方向的检测方向开口而构成检测空间的凹部。受压凹部具有：与面内方向平行的平面、并且是外缘部关于面内方向设于隔膜(218)的外侧的底面(214)；以及侧壁面(215)，从底面的外缘部朝向检测方向突出地设置。将底面与侧壁面覆盖的保护膜具有形成于受压凹部中的底面与侧壁面的连接部即内角部(216)的角壁部(232)。角壁部关于面内方向设于隔膜的外侧。

主权项

1.一种压力传感器(1)，其构成为，通过对被设置于基板(20)的厚度方向(D1、D2)以及与所述厚度方向正交的面内方向(D3)上的一部分且能够沿所述厚度方向挠曲变形的薄板状的隔膜(218)，作用在所述厚度方向上与所述隔膜相邻的检测空间(S)内的流体压力，从而产生与所述流体压力相应的电输出，所述压力传感器(1)的特征在于，具备：受压凹部(213)，是以通过朝向沿着所述厚度方向的检测方向(D1)开口而构成所述检测空间的方式形成于所述基板的凹部，具有底面(214)和侧壁面(215)，该底面(214)是与所述面内方向平行的平面，且外缘部在所述面内方向上被设置于所述隔膜的外侧，所述侧壁面(215)从所述底面的所述外缘部朝向所述检测方向突出设置；以及保护膜(230)，被设置成覆盖所述底面及所述侧壁面，所述保护膜具有角壁部(232)，该角壁部(232)形成于所述受压凹部中的所述底面与所述侧壁面的连接部即内角部(216)，所述角壁部在所述面内方向上被设置于所述隔膜的外侧。