[发明专利]网式过滤器的制造方法及网式过滤器在审
| 申请号： | 201780052516.2 | 申请日： | 2017-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN109642336A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 重田龙男 | 申请（专利权）人： | 株式会社新克 |
| 主分类号： | C25D1/08 | 分类号： | C25D1/08;C25D1/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 曹阳 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种网式过滤器的制造方法及网式过滤器，所述网式过滤器的制造方法可形成比冲孔加工更细微的孔，在同一基材上形成网眼不同的网，由此，可根据各种的网眼尺寸任意变更流量、光量。一种网式过滤器的制造方法，包括使用附带DLC图案的辊、通过对可镀敷的金属进行连续镀敷而制作网式过滤器的工序，上述网式过滤器状抗蚀剂图案是将网眼不同的两个以上的网式过滤器状抗蚀剂图案形成于同一上述圆筒状金属基材而成的网式过滤器状抗蚀剂图案。 | ||
| 搜索关键词： | 网式过滤器 抗蚀剂图案 网眼 基材 制造 圆筒状金属 连续镀 冲孔 镀敷 光量 附带 变更 金属 图案 加工 制作 | ||
【主权项】：
1.一种网式过滤器的制造方法，包括：准备可镀敷的圆筒状金属基材的工序；在所述圆筒状金属基材的表面涂布光抗蚀剂，使其曝光、显影而形成网式过滤器状抗蚀剂图案的工序；在所述圆筒状金属基材及网式过滤器状抗蚀剂图案的表面形成DLC覆膜的工序；将形成在所述网式过滤器状抗蚀剂图案上的DLC覆膜、与所述网式过滤器状抗蚀剂图案一起剥离，在所述圆筒状金属基材的表面形成DLC图案，制作附带DLC图案的辊的工序；及使用所述附带DLC图案的辊，对可镀敷的金属进行连续镀敷，由此制作网式过滤器的工序，所述网式过滤器状抗蚀剂图案是将网眼不同的两个以上的网式过滤器状抗蚀剂图案形成于同一所述圆筒状金属基材而成的网式过滤器状抗蚀剂图案。
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