[发明专利]用于等离子体处理腔室的等离子体屏在审
| 申请号： | 201780052603.8 | 申请日： | 2017-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN109643630A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | M·T·尼科尔斯;I·尤瑟夫;J·A·奥马利三世;R·丁德萨;S·E·巴巴扬 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及使用在等离子体处理腔室中的等离子体屏，此等离子体屏具有改进的流导与均匀性。一个实施例提供一种等离子体屏。等离子体屏包含圆形板，圆形板具有中心开口与外径。形成穿过圆形板的多个切口。多个切口被布置于两个或更多个同心圆中。每一同心圆包含均等数量的切口。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体屏 圆形板 等离子体处理腔室 同心圆 中心开口 均匀性 流导 穿过 改进 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体屏，包含：圆形板，所述圆形板具有中心开口与外径，其中多个切口被形成为穿过所述圆形板，所述多个切口被布置为两个或更多个同心圆，且每一同心圆中的所述多个切口的总切口面积基本上相等。
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