[发明专利]三维测量装置有效
| 申请号： | 201780053363.3 | 申请日： | 2017-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN109690236B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 石垣裕之;间宫高弘 | 申请（专利权）人： | CKD株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 刘军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种利用波长不同的光来实现测量范围的扩大并能够实现测量效率的提高的三维测量装置。三维测量装置包括：偏振分束器(20)，将入射的规定的光分割为偏振方向相互正交的两束偏振光，将一束作为测量光照射到工件(W)上，且将另一束作为参照光照射到参照面(23)上，并且能够将它们再次合成并射出；第一光投射系统(2A)，使第一光入射到该偏振分束器(20)的第一面(20a)；第二光投射系统(2B)，使第二光入射到该偏振分束器(20)的第二面(20b)；第一拍摄系统(4A)，能够拍摄从偏振分束器(20)的第一面(20a)射出的所述第一光；以及第二拍摄系统(4B)，能够拍摄从偏振分束器(20)的第二面(20b)射出的所述第二光。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种三维测量装置，其特征在于，包括：规定的光学系统，将入射的规定的光分割为两束光，能够将一束光作为测量光照射到被测量物上，且能够将另一束光作为参照光照射到参照面，并且能够将它们再次合成并射出；第一照射单元，能够射出入射到所述规定的光学系统的第一输入输出部的、包含规定的偏振光的第一光；第二照射单元，能够射出入射到所述规定的光学系统的第二输入输出部的、包含规定的偏振光的第二光；第一拍摄单元，能够入射通过向所述规定的光学系统的所述第一输入输出部入射所述第一光而从该第一输入输出部射出的所述第一光涉及的输出光；第二拍摄单元，能够入射通过向所述规定的光学系统的所述第二输入输出部入射所述第二光而从该第二输入输出部射出的所述第二光涉及的输出光；以及图像处理单元，能够基于由所述第一拍摄单元以及所述第二拍摄单元拍摄并获取的干涉条纹图像，执行所述被测量物的三维测量。
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