[发明专利]静电致动的设备有效
申请号: | 201780053722.5 | 申请日: | 2017-08-30 |
公开(公告)号: | CN109690382B | 公开(公告)日: | 2023-10-13 |
发明(设计)人: | 布鲁诺·贝尔格 | 申请(专利权)人: | 拉克拉里公司 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00;F04B43/06;G02C7/08;G02B3/14 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 王小衡;胡彬 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种静电致动的设备(100),其包括至少第一腔室(110)、包括可变形电极的电极腔室(500)。可变形电极被布置在电极腔室(500)中,以便形成第一电极腔室(615)和第二电极腔室(625)。 | ||
搜索关键词: | 静电 设备 | ||
【主权项】:
1.一种静电致动的设备(100),包括至少一个:‑第一腔室(110):所述第一腔室(110)包括第一主流体通道(111);所述第一主流体通道(111)向外开口;‑主分隔壁(200):所述主分隔壁(200)包括第一主表面(210)、第二主表面(220)和多个第二主流体通道(230);所述主分隔壁(200)的第二主表面(220)至少部分地限定所述第一腔室(110);‑电极腔室(500):所述电极腔室(500)被限定为邻近所述第一主表面(210);‑可变形电极(600):所述可变形电极(600)包括第一可变形电极表面、第二可变形电极表面;所述可变形电极(600)被布置在所述电极腔室(500)中,以便形成第一电极腔室(615)和第二电极腔室(625);‑电极;所述电极被配置为与所述可变形电极(600)协作,以便在至少第一位置(691)和第二位置(692)之间致动所述可变形电极(600);所述第一电极腔室(615)被包括在所述第一可变形电极表面和所述第一主表面(210)之间,并且当在至少第一位置(691)和所述第二位置(692)之间致动所述可变形电极时,所述第一电极腔室(615)经由多个第二主流体通道(240)而与所述第一腔室(110)流体连通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于拉克拉里公司,未经拉克拉里公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201780053722.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:观察装置
- 下一篇:电扫描器及反射镜单元