[发明专利]色度共焦计量的速度增强有效
| 申请号： | 201780055076.6 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN109690238B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | P·霍恩 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01J3/28 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于高度测量的系统和方法，例如用于凸块、支柱或薄膜厚度的那些测量，可使用色度共焦技术。系统可包含发射白光的白光源，以及改变来自所述白光源的所述白光的每一波长的焦距的透镜。所述白光的所述波长中的每一者聚焦于距所述透镜不同的距离处。传感器主体具有多个传感器，所述多个传感器安置于所述传感器主体中成多个行和列。所述行和所述列中的每一者具有所述传感器中的至少两个。 | ||
| 搜索关键词： | 色度 计量 速度 增强 | ||
【主权项】：
1.一种设备，其包括：白光源，其发射白光；多个透镜，其中所述透镜的折射率改变来自所述白光源的所述白光的每一波长的焦距，且其中所述白光的所述波长中的每一者聚焦于距所述透镜不同的距离处；针孔孔口；检测器，其接收所述白光；传感器主体，其包含多个传感器，其中所述传感器安置于所述传感器主体中成多个行和列，所述行和所述列中的每一者具有所述传感器中的至少两个；以及多个光纤，其将所述白光源和所述检测器连接到所述多个传感器。
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