[发明专利]照明装置、曝光装置以及物品的制造方法在审
| 申请号： | 201780055492.6 | 申请日： | 2017-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN109964176A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 寺师孝昭 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B3/00;G02B19/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种照明装置，用来自光源的光照明被照明面，其特征在于具有：光学系统，在与所述被照明面光学共轭的面形成沿着第1方向具有长边方向、沿着与所述第1方向正交的第2方向具有短边方向的矩形形状的照明区域；以及遮光板，配置于与所述被照明面光学共轭的面，设置有圆弧状的开口，所述光学系统可更换地配置于所述光的光路，包括形成覆盖所述圆弧状的开口的所述照明区域的第1积分器以及第2积分器，所述第1积分器形成在所述第1方向具有第1长度、在所述第2方向具有第2长度的第1照明区域，所述第2积分器以使所述第1照明区域的沿着所述第1方向的边中的所述圆弧状的开口的凸侧的边、和所述第2照明区域的沿着所述第1方向的边中的所述圆弧状的开口的凸侧的边一致的方式，形成在所述第1方向上具有比所述第1长度短的第3长度、在所述第2方向上具有比所述第2长度短的第4长度的第2照明区域。 | ||
| 搜索关键词： | 照明区域 积分器 圆弧状 被照明面 开口 光学共轭 光学系统 照明装置 凸侧 方向正交 矩形形状 曝光装置 可更换 遮光板 长边 短边 光路 光源 配置 光照 覆盖 制造 | ||
【主权项】：
1.一种照明装置，用来自光源的光对被照明面进行照明，其特征在于，具有：光学系统，在与所述被照明面在光学上共轭的面形成沿着第1方向具有长边方向、沿着与所述第1方向正交的第2方向具有短边方向的矩形形状的照明区域；以及遮光板，配置于与所述被照明面在光学上共轭的面，设置有圆弧状的开口，所述光学系统包括以可更换的方式配置于所述光的光路、形成覆盖所述圆弧状的开口的所述照明区域的第1积分器以及第2积分器，所述第1积分器形成第1照明区域，该第1照明区域在所述第1方向上具有第1长度，在所述第2方向上具有第2长度，所述第2积分器以使所述第1照明区域的沿着所述第1方向的边中的所述圆弧状的开口的凸侧的边、和第2照明区域的沿着所述第1方向的边中的所述圆弧状的开口的凸侧的边一致的方式形成所述第2照明区域，该第2照明区域在所述第1方向上具有比所述第1长度短的第3长度，在所述第2方向上具有比所述第2长度短的第4长度。
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