[发明专利]用于工艺量测的差分目标设计和方法有效
| 申请号： | 201780055646.1 | 申请日： | 2017-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN109690411B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | B·费尔斯特莱腾;H·A·J·克莱默;T·希尤维斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种评估图案化工艺的方法，该方法包括：获得第一量测目标的第一测量的结果；获得第二量测目标的第二测量的结果，第二量测目标与第一量测目标具有结构差异，结构差异生成在第一与第二量测目标之间的、图案化工艺的工艺参数的灵敏度差异和/或偏移；以及由计算机系统，基于第一和第二测量的结果，确定与图案化工艺有关的值。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 工艺 目标 设计 方法 | ||
【主权项】：
1.一种评估图案化工艺的方法，所述方法包括：获得第一量测目标的第一测量的结果；获得第二量测目标的第二测量的结果，所述第二量测目标与所述第一量测目标具有结构差异，所述结构差异生成在所述第一量测目标与所述第二量测目标之间的、所述图案化工艺的工艺参数的灵敏度差异和/或偏移；以及由计算机系统，基于所述第一测量和所述第二测量的结果，确定与所述图案化工艺有关的值。
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