[发明专利]用于制造吸光层的溅射靶材在审
| 申请号： | 201780055734.1 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN109689923A | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | M·施洛特;马库斯·舒尔特海斯;安德列亚斯·赫尔佐克 | 申请（专利权）人： | 万腾荣先进材料德国有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/34;C22C29/12 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 严彩霞;黄威 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 已知一种用于制造吸光层的溅射靶材，该靶材由一种靶材材料组成，该材料包含氧化物相并且相比较化学计量的组成具有减少的含氧量，为此，提供一种溅射靶材，该溅射靶材包含导电相并且避免充电和形成颗粒，根据本发明建议，靶材材料包含由钼组成的金属相(Mo相)，并且氧化物相包含氧化锌(ZnO相)和分子式为MNOn‑x的混合氧化物相，其中，M代表主要成分锌(Zn)，并且N代表至少一种副成分铌(Nb)和/或钛(Ti)，并且其中，x大于0并且n表示混合氧化物相的化学计量组成的氧原子数量。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射靶材 混合氧化物相 靶材材料 氧化物相 吸光层 化学计量组成 化学计量 含氧量 导电相 金属相 氧化锌 氧原子 靶材 制造 充电 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造吸光层的溅射靶材，该溅射靶材由一种靶材材料组成，该材料包含氧化物相并且相比较化学计量的组成具有减少的含氧量，其特征在于，所述靶材材料包含由钼组成的金属相(Mo相)，并且所述氧化物相包含氧化锌(ZnO相)和分子式为MNOn‑x的混合氧化物相，其中，M代表主要成分锌(Zn)，N代表至少一种副成分铌(Nb)和/或钛(Ti)，并且其中，x大于0并且n表示所述混合氧化物相的化学计量组成的氧原子数量。
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