[发明专利]移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法

摘要

本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息以设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息以设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

主权项

1.一种移动体装置，具备：第1移动体，其能保持物体、并往彼此交叉的第1及第2方向移动；第2移动体，其能往该第2方向移动；基准构件，其于该第1及第2方向，作为该第1移动体的移动的基准；第1测量系统，通过多个第1读头与第1格子构件取得该第1移动体相对该基准构件的位置信息，该多个第1读头设在该第1及第2移动体中的一方，该第1格子构件设在另一方且具有该第1及第2方向的测量成分并可通过于该第1方向彼此分离配置的多个格子区域测量该第1移动体于该第1方向的移动范围；第2测量系统，通过第2读头与第2格子构件取得该第1移动体相对该基准构件的位置信息，该第2读头设在该第2移动体与该基准构件中的一方，该第2格子构件设在另一方且具有该第1及第2方向的测量成分并可测量该第1移动体于该第2方向的移动范围；以及控制系统，根据该多个第1读头中、该多个第1读头的测量光束照射于该多个格子区域中的至少1个的至少3个读头的测量信息、与以该第2测量系统取得的位置信息，控制相对于该基准构件的该第1及第2方向的该第1移动体的位置；该第1测量系统，一边使该第1读头相对该第1格子区域往该第1方向移动、一边照射测量光束以取得该第1移动体的位置信息；该第2测量系统，一边使该第2读头相对该第2格子区域往该第2方向移动、一边照射测量光束以取得该第1移动体的位置信息；该多个读头，分别在该第1移动体往该第1方向的移动中，该测量光束从该多个格子区域的1个脱离，并移至与该1个格子区域相邻的另一格子区域；该控制系统，将用以使用该多个读头中、与该测量光束从该1个格子区域脱离而移至该另一格子区域的该至少3个读头不同的读头控制该第1移动体的移动的修正信息，根据该至少3个读头的测量信息或使用该至少3个读头测量的该第1移动体的位置信息加以取得。