[发明专利]用于借助彩色共焦传感器进行光学表面测量的方法和装置有效
| 申请号： | 201780058927.2 | 申请日： | 2017-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN109791040B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | J·弗兰克 | 申请（专利权）人： | 纳诺福卡斯股份公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周家新 |
| 地址： | 德国奥*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于借助于彩色共焦传感器对技术表面进行光学测量的方法和装置，其中，来自光源(2)的光借助于具有限定的色差的光学系统(4，14)被引导到待测量的样品的表面(5)。根据本发明，光源(2)可以在待发射的波长方面被调谐。从样品表面(5)反射回来的光被引导到至少一个光电传感器(7)，其中，借助于检测系统(8)随时间测量传感器信号，并确定信号最大值的时刻。检测系统(8)从光源(2)在信号最大值时的波长得出表面(5)的高度Z。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 借助 彩色 传感器 进行 光学 表面 测量 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于借助于彩色共焦传感器对技术表面进行光学测量的方法，其中，来自至少一个光源的光经由具有限定的色差的光学系统被引导到待测量的样品的表面，其特征在于，光源在待发射的波长方面被调谐，从样品表面反射回来的光被引导到至少一个光电传感器，其中，随时间测量传感器信号并且确定和评估信号最大值的时刻和强度，其中，表面的高度Z由光源在信号最大值时的波长得出。
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