[发明专利]移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及器件制造方法

摘要

本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息通过设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息通过设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统则一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

主权项

1.一种移动体装置，具备：第1移动体，其保持物体、能往彼此交叉的第1方向与第2方向移动；第1测量系统，其于该第1方向多个格子区域彼此分离配置且包含该第1及第2方向的测量成分的第1格子区域、与一边相对该第1格子区域往该第1方向移动一边照射测量光束的多个第1读头中的一方设于该第1移动体，测量通过该多个第1读头中、该测量光束照射于该多个格子区域中的至少1个的至少3个第1读头所测量于该第1方向的该第1移动体的位置信息；第2移动体，设在该第1格子区域与该多个第1读头中的另一方，能往该第2方向移动；第2测量系统，其包含该第1及第2方向的测量成分的第2格子区域、与一边相对该第2格子区域往该第2方向移动一边照射测量光束的第2读头中的一方设于该第2移动体，第2格子区域与该第2格子区域中的另一方被设置成与该第2移动体对向，测量于该第2方向的该第2移动体的位置信息；以及控制系统，其根据以该第1及第2测量系统测量的该位置信息、与用以补偿因该第1格子构件、该多个第1读头及该第1移动体的移动中的至少1个而产生的该测量系统的测量误差的修正信息，进行该第1移动体于包含该第1及第2方向的既定平面内的3自由度方向的移动控制。