[发明专利]感光性树脂组合物、由其形成的硬化膜、及具有所述硬化膜的电子装置

摘要

本发明提供一种感光性树脂组合物、使所述感光性树脂组合物硬化而制造的硬化膜、及包含所述硬化膜的电子装置，所述感光性树脂组合物包含(A)聚硅氧烷聚合物、及(B)溶媒，其中所述(A)聚硅氧烷聚合物是使下述化学式1所表示的至少一种硅烷化合物进行水解及缩合反应而形成，在所述感光性树脂组合物的预烘烤后，膜不溶于2.38重量％四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液中，且在5重量％TMAH水溶液中的溶解速度为/秒以下：[化学式1](R1)aSiX14‑a，所述化学式1中，R1、X1、及a与说明书中的定义相同。

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其包含：(A)聚硅氧烷聚合物，使下述化学式1所表示的至少一种硅烷化合物进行水解及缩合反应而形成，整体硅原子的65％以上由苯基取代；以及(B)溶媒，在所述感光性树脂组合物的预烘烤后，膜不溶于2.38重量％四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液中，且在5重量％四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度为以下：[化学式1](R¹)_aSiX¹_4‑a所述化学式1中，R¹为氢、羟基、卤素、经取代或未经取代的C1～C30的烷基、经取代或未经取代的C3～C30的环烷基、经取代或未经取代的C6～C30的芳基、经取代或未经取代的C7～C30的芳基烷基、经取代或未经取代的C1～C30的杂烷基、经取代或未经取代的C2～C30的杂环烷基、经取代或未经取代的C1～C30的杂芳基、经取代或未经取代的C2～C30的烯基、经取代或未经取代的C2～C30的炔基、RO‑、R(C＝O)‑(此处，R为经取代或未经取代的C1～C30的烷基、经取代或未经取代的C3～C30的环烷基、经取代或未经取代的C6～C30的芳基、或者经取代或未经取代的C7～C30的芳基烷基)、或者它们的组合，X¹为C1～C6的烷氧基、羟基、卤素、羧基、或它们的组合，a为0≤a＜4。