[发明专利]压力传感器装置和用于制造压力传感器装置的方法有效
| 申请号： | 201780060256.3 | 申请日： | 2017-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN110073191B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 耶格·西格特;威廉·弗雷德里克·阿德里亚努斯·贝斯林;昆拉德·科内利斯·塔克;马丁·施雷姆斯;弗朗茨·施兰克 | 申请（专利权）人： | 希奥检测有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/04 | 分类号： | G01L19/04;G01L19/14 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 谢攀;刘继富 |
| 地址： | 荷兰埃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压力传感器装置(10)包括衬底主体(11)、包括膜(13)的压力传感器(12)、以及包括至少一个开口(15)的盖体(14)。压力传感器(12)在垂直方向(z)上布置在衬底主体(11)和盖体(14)之间，垂直方向(z)垂直于衬底主体(11)的主延伸平面，并且，衬底主体(11)的质量大约等于盖体(14)的质量。此外，提供了一种用于制造压力传感器装置(10)的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 装置 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器装置(10)，包括：‑衬底主体(11)，‑压力传感器(12)，其包括膜(13)，和‑盖体(14)，其包括至少一个开口(15)，其中：‑所述压力传感器(12)沿垂直方向(z)布置在所述衬底主体(11)和所述盖体(14)之间，所述垂直方向(z)垂直于所述衬底主体(11)的主延伸平面，并且‑所述衬底主体(11)的质量约等于所述盖体(14)的质量。
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