[发明专利]光束扫描装置有效
| 申请号： | 201780060673.8 | 申请日： | 2017-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN109804314B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 加藤正纪;鬼头义昭 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B26/08;G02B26/10;G02B26/12;G03F7/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王天尧;任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的描绘单元(Un)具备具有折射能力的fθ透镜系统(FT)，且以与多面镜(PM)的反射面(RP)的角度变化相应的扫描速度使点光(SP)进行扫描，该fθ透镜系统(FT)使经角度可变的多面镜(PM)的反射面(RP)偏向的加工用光束(LBn)入射，并使加工用光束(LBn)于基板P聚光为点光(SP)。描绘单元(Un)具备：光电转换元件(DTo)，其接收朝向多面镜(PM)的反射面(RP)投射的原点检测用激光光束(Bga)的反射光束(Bgb)，并输出表示多面镜(PM)的反射面(RP)成为既定角度的时间点的原点信号(SZn)；及透镜系统(GLb)，其被设定为较fθ透镜系统(FT)的折射能力低的折射能力，且使反射光束(Bgb)于光电转换元件(DTo)聚光为点光(SPr)。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 扫描 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光束扫描装置，其具备具有折射能力的扫描用光学系统，该扫描用光学系统是使经角度可变的扫描构件的反射面偏向的加工用光束入射，并使所述加工用光束于被照射体聚光为光点，且该光束扫描装置具备：光电检测器，其接收朝向所述扫描构件的反射面投射的原点检测用光束的反射光束，并输出表示所述扫描构件的反射面成为既定角度的时间点的原点信号；及聚光光学系统，其被设定为较所述扫描用光学系统的折射能力低的折射能力，且使所述反射光束于所述光电检测器聚光为光点。
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