[发明专利]搬运装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法有效
| 申请号： | 201780060911.5 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN110114725B | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/677;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王涛;任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种搬运装置，其相对于非接触地支撑基板(P)的非接触固定器(32)而搬运基板(P)，所述搬运装置包括：保持垫(1084b)，在位于非接触固定器(32)的上方的第1位置保持基板(P)的一部分；驱动部，使保持基板(P)的保持垫(1084b)以基板(P)非接触地支撑于非接触固定器(32)的方式朝下方移动；以及吸附垫(44)，保持由保持垫(1084b)保持的基板(P)借由所述驱动部而移动，非接触地支撑于非接触固定器(32)后的基板(P)；所述驱动部使保持垫(1084b)自第1位置移动至可将基板(P)交付至吸附垫(44)的第2位置。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 装置 曝光 平板 显示器 制造 方法 以及 元件 | ||
【主权项】：
1.一种搬运装置，其相对于非接触地支撑物体的支撑部而搬运所述物体，所述搬运装置包括：第1保持部，在位于所述支撑部的上方的第1位置保持所述物体的一部分；驱动部，使保持所述物体的所述第1保持部以所述物体非接触地支撑于所述支撑部的方式朝下方移动；以及第2保持部，藉由所述驱动部而移动由所述第1保持部保持的所述物体，且保持非接触地支撑于所述支撑部的所述物体；所述驱动部使所述第1保持部自所述第1位置移动至可将所述物体交付至所述第2保持部的第2位置。
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