[发明专利]蓝宝石薄膜涂布基材有效

专利信息
申请号: 201780061301.7 申请日: 2017-09-27
公开(公告)号: CN109790627B 公开(公告)日: 2022-03-15
发明(设计)人: 谢国伟;林永锐;陈余伟 申请(专利权)人: 浸大科研发展有限公司
主分类号: C23C28/04 分类号: C23C28/04;G02B1/115;G02B1/14;C23C14/08
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 曹立莉
地址: 中国香港九龙九龙塘联福道三*** 国省代码: 香港;81
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摘要: 一种抗反射涂层,其包括一含有蓝宝石或Al2O3的最顶抗反射材料层,一或多个中间抗反射材料层,一沉积在基材的顶部的最底抗反射材料层,其中,该最顶抗反射材料层、该一或多个中间抗反射材料层与该最底抗反射材料层的折射率相对于彼此是交替地较高与较低。位于一基材上的该抗反射涂层能够形成为高抗刮层。
搜索关键词: 蓝宝石 薄膜 基材
【主权项】:
1.一种在一基材上包括一分层结构的抗反射涂层,其特征在于,所述分层结构包括:一最顶抗反射材料层,包括在一或多个中间抗反射材料层的顶部的蓝宝石或Al2O3,所述一或多个中间抗反射材料层的匹配折射率高于所述最顶抗反射材料层的折射率;所述一或多个中间抗反射材料层,其中,直接位在所述最顶抗反射材料层的下方的所述中间抗反射材料层是一第二抗反射材料层且其匹配折射率高于所述最顶抗反射材料层的折射率;及一最底抗反射材料层,位在所述一或多个中间抗反射材料层的下方,其中,所述最底抗反射材料层沉积在所述基材的顶部;其中,所述最顶抗反射材料层、所述一或多个中间抗反射材料层与所述最底抗反射材料层的折射率相对于彼此是交替地较高与较低。
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