[发明专利]试样观察装置及试样观察方法在审
| 申请号： | 201780062595.5 | 申请日： | 2017-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN109844606A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 山本谕;松原正典;杉山范和 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B21/36 | 分类号： | G02B21/36;G01N21/27;G01N21/64 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 试样观察装置(1)具备：照射光学系统(3)，其对试样(S)照射面状光(L2)；扫描部(4)，其相对于面状光(L2)的照射面(R)扫描试样(S)；成像光学系统(5)，其具有相对于照射面(R)倾斜的观察轴(P2)，将通过面状光(L2)的照射而在试样(S)产生的观察光(L3)成像；图像取得部(6)，其多次取得与由成像光学系统(5)成像的观察光(L3)的光像的一部分对应的部分图像数据；图像生成部(8)，其基于由图像取得部(6)生成的多个部分图像数据而生成试样(S)的观察图像数据。 | ||
| 搜索关键词： | 试样观察 照射面 成像光学系统 图像取得部 图像数据 面状光 成像 观察 照射光学系统 图像生成部 观察图像 扫描试样 照射 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种试样观察装置，其中，具备：照射光学系统，其对试样照射面状光；扫描部，相对于所述面状光的照射面扫描所述试样；成像光学系统，其具有相对于所述照射面倾斜的观察轴，将通过所述面状光的照射而在所述试样产生的观察光成像；图像取得部，其多次取得与由所述成像光学系统成像的所述观察光的光像的一部分对应的部分图像数据；以及图像生成部，其基于由所述图像取得部生成的多个部分图像数据而生成所述试样的观察图像数据。
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