[发明专利]基板检查装置及利用其的基板检查方法有效
| 申请号： | 201780062874.1 | 申请日： | 2017-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN109804731B | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 郑升源;崔钟镇 | 申请（专利权）人： | 株式会社高迎科技 |
| 主分类号： | H05K13/08 | 分类号： | H05K13/08;G01B11/24;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 基板检查装置包括：测量部，其获得测量数据；处理部，其以多个特征对象为基础，执行基板的翘曲补偿，检查翘曲被补偿的基板；显示部，其显示用于调节由翘曲补偿决定的检查速度的第一级别及翘曲补偿的精密度的第二级别所需的范围；及输入部，其从使用者接受输入检查速度的第一级别及精密度的第二级别作为交替换位关系的特定设置组合。处理部在设置检查速度及精密度时，在用于提高翘曲补偿精密度所需的多个选项中，指定成应用与设置的检查速度及精密度相应的特定选项。因此，能够提高使用者的便利性，使用者可以容易地设置歪曲补偿所需的选项。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 利用 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查装置，其中，包括：测量部，其获得关于基板的至少一部分的测量数据；处理部，其以在所述基板上设置的多个特征对象为基础，比较所述基板的测量数据及已获得的所述基板的基准数据，执行所述基板的翘曲补偿，检查经翘曲补偿的所述基板；显示部，其显示用于调节由所述翘曲补偿决定的检查速度的第一级别及所述翘曲补偿的精密度的第二级别所需的范围；及输入部，其从使用者接受输入所述检查速度的第一级别及所述精密度的第二级别作为交替换位(trade‑off)关系的特定设置组合，所述处理部在设置所述检查速度及所述精密度时，在用于提高所述翘曲补偿的精密度的多个选项(option)中，指定为应用与设置的所述检查速度及所述精密度相应的特定选项。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社高迎科技，未经株式会社高迎科技许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780062874.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基板检查装置及利用其的基板歪曲补偿方法
- 下一篇：一种便于调节松土种植装置
