[发明专利]借助粒子束处理表面的方法有效
| 申请号： | 201780062983.3 | 申请日： | 2017-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN109804451B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | T·顿格;M·德姆勒;M·泽纳;M·内斯特勒 | 申请（专利权）人： | 斯西亚系统有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/304 | 分类号： | H01J37/304;H01J37/305 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 包莉莉;杨阳 |
| 地址： | 德国萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种借助粒子束(106)处理表面(110)的方法，该表面包括初始拓扑，所述方法包括根据表面(110)的目标拓扑，借助粒子束(106)以粒子束(106)相对于表面(110)为第一角度处理表面(110)。该方法还包括根据表面(110)的目标拓扑，借助粒子束(106)以粒子束(106)相对于表面(110)为第二角度对表面(110)进行后续处理，其中第二角度不同于第一角度。 | ||
| 搜索关键词： | 借助 粒子束 处理 表面 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于借助粒子束(106)处理表面(110)的方法，所述表面具有初始拓扑，所述方法包括：·根据所述表面(110)的目标拓扑，借助所述粒子束(106)以所述粒子束(106)相对于所述表面(110)为第一角度对所述表面(110)进行处理；以及·根据所述表面(110)的目标拓扑，借助所述粒子束(106)以所述粒子束(106)相对于所述表面(110)为第二角度对所述表面(110)进行后续处理，其中所述第二角度不同于所述第一角度，·其中，在对所述表面(110)进行处理期间，所述粒子束(106)的粒子流密度和/或粒子流流量基本上相同；和/或其中，仅所述粒子束(106)相对于所述表面的角度改变，其中所述粒子束(106)的其他参数、粒子束特性的其他参数和/或粒子束产生的其他参数保持基本恒定或仅具有低于公差值的偏差。
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