[发明专利]具有应力解耦结构的微机械传感器有效
| 申请号： | 201780063195.6 | 申请日： | 2017-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN109843788B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | J·拜恩特纳;C·舍林 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;B81B3/00;B81C1/00;B81B7/00;B81B7/02;G01L9/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械传感器(100)，该微机械传感器具有：‑衬底(10)；布置在所述衬底(10)上的第一功能层(20)；‑布置在所述第一功能层(20)上的第二功能层(30)，该第二功能层具有能运动的微机械结构(31)；‑在所述衬底(10)中布置在所述能运动的微机械结构(31)下方的空腔(11)；和围绕所述第二功能层(30)的所述能运动的微机械结构(31)构造的并且延伸到所述衬底(10)中直至所述空腔(11)的垂直的沟槽结构(40)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 应力 结构 微机 传感器 | ||
【主权项】：
1.微机械传感器(100)，该微机械传感器具有：‑衬底(10)；‑布置在所述衬底(10)上的第一功能层(20)；‑布置在所述第一功能层(20)上的第二功能层(30)，该第二功能层具有能运动的微机械结构(31)；‑在所述衬底(10)中布置在所述能运动的微机械结构(31)下方的空腔(11)；和‑围绕所述第二功能层(30)的所述能运动的微机械结构(31)环绕地构造并且延伸到所述衬底(10)中直至所述空腔(11)的、垂直的沟槽结构(40)。
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