[发明专利]优化用于设置检验相关算法的训练组

摘要

本发明提供用于训练检验相关算法的方法及系统。一个系统包含一或多个计算机子系统，所述一或多个计算机子系统经配置以使用标记缺陷组来执行检验相关算法的初始训练，借此产生所述检验相关算法的初始版本，且将所述检验相关算法的所述初始版本应用到未标记缺陷组。所述(若干)计算机子系统还经配置以基于所述应用的结果来变更所述标记缺陷组。接着，所述(若干)计算机子系统可迭代地再训练所述检验相关算法且变更所述标记缺陷组，直到所述算法的最新版本与先前版本所产生的结果之间的一或多个差达到一或多个标准。当所述一或多个差达到所述一或多个标准时，输出所述检验相关算法的所述最新版本作为经训练算法。

主权项

1.一种经配置以训练检验相关算法的系统，其包括：检验子系统，其包括至少能源及检测器，其中所述能源经配置以产生被导引到样品的能量，且其中所述检测器经配置以检测来自所述样品的能量，且响应于所述经检测的能量而产生输出；及一或多个计算机子系统，其经配置以：使用标记缺陷组来执行检验相关算法的初始训练，借此产生所述检验相关算法的初始版本；将所述检验相关算法的所述初始版本应用到未标记缺陷组；基于所述应用的结果来变更所述标记缺陷组；使用所述经变更标记缺陷组来再训练所述检验相关算法，借此产生所述检验相关算法的较新版本；将所述检验相关算法的所述较新版本应用到另一未标记缺陷组；确定应用所述检验相关算法的所述较新版本的结果与所述应用所述检验相关算法的所述初始版本或较旧版本的所述结果之间的一或多个差；重复变更所述标记缺陷组、再训练所述检验相关算法、应用所述检验相关算法的所述较新版本，且确定所述一或多个差直到所述一或多个差达到一或多个标准；及当所述一或多个差达到所述一或多个标准时，输出所述检验相关算法的最新版本作为经训练检验相关算法以用于检验其它样品。