[发明专利]光谱特征控制装置有效
| 申请号： | 201780063627.3 | 申请日： | 2017-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN109844612B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | E·A·梅森 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G03F7/20;H01S3/00;H01S3/08;H01S3/125;H01S3/22 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光谱特征选择装置包括：色散光学元件，被布置为与脉冲光束交互；三个或更多个折射光学元件，被布置在色散光学元件与脉冲光学源之间的脉冲光束的路径中；以及一个或多个致动系统，每个致动系统与折射光学元件相关联并且被配置为旋转相关联的折射光学元件，从而调节脉冲光束的光谱特征。致动系统中的至少一个致动系统是包括快速致动器的快速致动系统，快速致动器被配置为使其相关联的折射光学元件绕旋转轴线旋转。快速致动器包括旋转步进电机，旋转步进电机具有绕轴心线旋转的旋转轴，轴心线与相关联的折射光学元件的旋转轴线平行。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱 特征 控制 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于脉冲光学源的光谱特征选择装置，所述脉冲光学源产生脉冲光束，所述装置包括：色散光学元件，被布置为与所述脉冲光束交互；三个或更多个折射光学元件，被布置在所述色散光学元件与所述脉冲光学源之间的所述脉冲光束的路径中；一个或多个致动系统，每个致动系统与折射光学元件相关联，并且被配置为旋转相关联的折射光学元件，从而调节所述脉冲光束的光谱特征；所述致动系统中的至少一个致动系统是包括快速致动器的快速致动系统，所述快速致动器被配置为使其相关联的折射光学元件绕旋转轴线旋转，所述快速致动器包括旋转步进电机，所述旋转步进电机具有绕轴心线旋转的旋转轴，所述轴心线与所述相关联的折射光学元件的所述旋转轴线平行；以及控制系统，连接到所述一个或多个致动系统，所述控制系统被配置为向所述快速致动器发送信号，以调节所述旋转步进电机的所述旋转轴，从而使所述相关联的折射光学元件绕其旋转轴线旋转。
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