[发明专利]固体成分浓度管理方法及三氯硅烷的制造方法有效
| 申请号： | 201780064242.9 | 申请日： | 2017-10-06 |
| 公开（公告）号： | CN109843801B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 石田顺一;江野口正美;山下功;儿玉芳一;西村弘之 | 申请（专利权）人： | 株式会社德山 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 | 代理人： | 尹吉伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明实现能够迅速地探测反应装置的异常的固体成分浓度管理方法。本发明是在制造三氯硅烷的方法中、包含在由反应生成气体处理工序排出的残渣中的固体成分的浓度的管理方法，其包括浓度测定工序，所述浓度测定工序测定使氯化铝的一部分结晶后的结晶后残渣中包含的固体成分的浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 固体 成分 浓度 管理 方法 硅烷 制造 | ||
【主权项】：
1.一种固体成分浓度管理方法，其特征在于，其是在使金属硅、四氯硅烷及氢反应来制造三氯硅烷的方法中、包含在由反应生成气体处理工序排出的残渣中的固体成分的浓度的管理方法，其包括浓度测定工序，所述浓度测定工序测定结晶后残渣中包含的固体成分的浓度，所述结晶后残渣是通过将所述残渣冷却而使该残渣中含有的氯化铝的一部分结晶的结晶工序而得到的。
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