[发明专利]玻璃基板的制造方法有效
| 申请号： | 201780064645.3 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN109843822B | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 山本好晴;中塚弘树;大野和宏 | 申请（专利权）人： | 日本电气硝子株式会社 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;H01L21/302 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘影娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口(8aa)搬入到腔室(8)内的玻璃基板(2)以平放姿势沿着搬运路径搬运的同时，利用配置在搬运路径上的处理器(5)所供给的处理气体(4)对该玻璃基板的下表面(2a)实施蚀刻处理，之后将处理后的玻璃基板(2)从搬出口(8ab)向腔室(8)外搬出，其中，从配置在腔室(8)内的比搬运路径靠上方侧的吸引口(12a)向腔室(8)外进行排气。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口搬入到腔室内的玻璃基板以平放姿势沿着搬运路径搬运的同时，利用配置在所述搬运路径上的处理器所供给的处理气体对该玻璃基板的下表面实施蚀刻处理，之后将处理后的所述玻璃基板从搬出口向所述腔室外搬出，该玻璃基板的制造方法的特征在于，从配置在所述腔室内的比所述搬运路径靠上方侧的吸引口向该腔室外进行排气。
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