[发明专利]电子束照射装置

摘要

本发明的电子束照射装置，是具备有电子枪和框体以及电子束射出窗的电子束照射装置。框体的杆部，具备有第1筒状构件、第2筒状构件、冷却气体流通空间以及壁构件。第1筒状构件，在前端侧的端部被设置有电子束射出窗，并使电子束通过其内部。第2筒状构件，包围第1筒状构件。冷却气体流通空间，为使从基端侧而被导入的冷却气体流通至前端侧的空间，并至少包含有被设置在第1筒状构件的外壁面和第2筒状构件的内壁面之间的冷却气体流路。壁构件，以将面向电子束射出窗的电子束射出侧的电子束射出空间和冷却气体流通空间隔开的方式设置。在壁构件，被设置有使冷却气体从冷却气体流通空间而朝向电子束射出空间喷出的冷却气体喷出孔。冷却气体喷出孔，具有比冷却气体流路的流路截面积小的流路截面积。

主权项

1.一种电子束照射装置，其特征在于，具备：电子枪，射出电子束；框体，具有容纳所述电子枪的主体部、以及以基端侧与所述主体部连接并且前端侧从所述主体部突出的方式延伸的杆部；和电子束射出窗，设置于所述杆部的前端侧，所述杆部具备：第1筒状构件，具有以所述杆部的延伸方向作为轴向的筒形状，并且在前端侧的端部设置有所述电子束射出窗，所述电子束通过所述第1筒状构件的内部；第2筒状构件，具有以所述杆部的延伸方向作为轴向的筒形状，并包围所述第1筒状构件；冷却气体流通空间，其为使从基端侧导入的冷却气体流通至前端侧的空间，并至少包含设置在所述第1筒状构件的外壁面和所述第2筒状构件的内壁面之间的冷却气体流路；和壁构件，以将面向所述电子束射出窗的电子束射出侧的电子束射出空间和所述冷却气体流通空间隔开的方式设置，在所述壁构件，设置有使所述冷却气体从所述冷却气体流通空间朝向所述电子束射出空间喷出的冷却气体喷出孔，所述冷却气体喷出孔，具有比所述冷却气体流路的流路截面积小的流路截面积。