[发明专利]超声波检查装置及超声波检查方法有效
| 申请号： | 201780066327.0 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN109891231B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 松本彻 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01N29/265 | 分类号： | G01N29/265;G01N29/28;G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;陈明霞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的超声波检查装置(1)是以经封装化的半导体器件(D)为检查对象的装置，具备：超声波振子(2)，其对半导体器件(D)输出超声波(W)；接收机(反射检测部)(13)，其检测由半导体器件(D)反射的超声波(W)的反射波；载置台(3)，其使半导体器件(D)与超声波振子(2)的相对位置移动；载置台控制部(21)，其控制载置台(3)的驱动；及解析部(22)，其解析与由超声波振子(2)产生的超声波(W)的输入对应的半导体器件(D)的反应，载置台控制部(21)基于出现在接收机(13)检测出的反射波的时间波形(K)的波峰，控制半导体器件(D)与超声波振子(2)的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超声波检查装置，其特征在于，是以经封装化的半导体器件为检查对象的超声波检查装置，具备：超声波振子，其对所述半导体器件输出超声波；反射检测部，其检测由所述半导体器件反射的所述超声波的反射波；载置台，其使所述半导体器件与所述超声波振子的相对位置移动；载置台控制部，其控制所述载置台的驱动；以及解析部，其解析与由所述超声波振子进行的超声波输入对应的所述半导体器件的反应，所述载置台控制部基于在所述反射检测部检测出的所述反射波的时间波形中出现的波峰，控制所述半导体器件与所述超声波振子的距离。
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