[发明专利]氟类气体检测装置及其的制造方法有效
| 申请号： | 201780066530.8 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN109891225B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 徐亨卓;沈高云;李相渊 | 申请（专利权）人： | 亚洲大学校产学协力团 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414;G01N21/78;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 延美花;臧建明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开氟类气体检测装置。氟类气体检测装置包括：基板；以及检测层，配置于上述基板，包含氢化过渡金属氧化物并在与氟类气体反应的情况下，颜色发生变化。这种氟类气体检测装置可通过检测层的颜色变化来检测氟类气体。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 检测 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氟类气体检测装置，其特征在于，包括：基板；以及检测层，配置于上述基板，包含氢化过渡金属氧化物并在与氟类气体反应的情况下，颜色发生变化。
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