[发明专利]多晶金刚石及其制法有效
申请号: | 201780067572.3 | 申请日: | 2017-11-29 |
公开(公告)号: | CN109890753B | 公开(公告)日: | 2022-08-19 |
发明(设计)人: | 池田和宽;有元桂子;山本佳津子;角谷均 | 申请(专利权)人: | 住友电气工业株式会社 |
主分类号: | C01B32/25 | 分类号: | C01B32/25;B01J3/06;B23B27/14;B23B27/20;C01B32/205;C04B35/528;C04B41/87;C23C16/26;C25B11/043;C30B29/04 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 张苏娜;樊晓焕 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种以金刚石单相作为基本组成的多晶金刚石。所述多晶金刚石包括多个晶粒,并且包含硼、氢和氧,剩余物包括碳和微量杂质。所述硼以原子水平分散在晶粒中,并且90原子%以上的所述硼以孤立置换型存在。所述氢和氧以孤立置换型或间隙型存在于晶粒中。每个晶粒的粒度为500nm以下,并且所述多晶金刚石的表面被保护膜覆盖。 | ||
搜索关键词: | 多晶 金刚石 及其 制法 | ||
【主权项】:
1.一种以金刚石单相作为基本组成的多晶金刚石,其中所述多晶金刚石包括多个晶粒,所述多晶金刚石包含硼、氢、氧、以及包括碳和微量杂质的剩余物,所述硼以原子水平分散在所述晶粒中,并且90原子%以上的所述硼以孤立置换型存在,所述氢和所述氧以孤立置换型或间隙型存在于所述晶粒中,每个所述晶粒的粒度为500nm以下,并且所述多晶金刚石的表面被保护膜覆盖。
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