[发明专利]形成包括竖直相对的电容器对的阵列的方法及包括竖直相对的电容器对的阵列

摘要

本发明公开一种形成包含竖直相对的电容器对的阵列的方法，其包含：在具绝缘性的材料中的个别电容器开口中形成导电内衬。移除所述导电内衬中的个别者的竖向中间部分以在所述个别电容器开口中形成彼此竖向分离及间隔的上电容器电极内衬及下电容器电极内衬。使电容器绝缘体形成在所述个别电容器开口中的所述上电容器电极内衬及所述下电容器电极内衬的横向内部。使导电材料形成在所述个别电容器开口中的所述电容器绝缘体的横向内部且竖向上介于所述电容器电极内衬之间。使所述导电材料形成为构成由所述竖直相对的电容器对中的个别者中的竖直相对的电容器共享的共享电容器电极。本发明公开独立于所述方法的额外方法及结构。

主权项

1.一种形成包括竖直相对的电容器对的阵列的方法，其包括：在具绝缘性的材料中的个别电容器开口中形成导电内衬；移除所述导电内衬中的个别者的竖向中间部分以在所述个别电容器开口中形成彼此竖向分离且间隔的上电容器电极内衬及下电容器电极内衬；使电容器绝缘体形成在所述个别电容器开口中的所述上电容器电极内衬及所述下电容器电极内衬的横向内部；及使导电材料形成在所述个别电容器开口中的所述电容器绝缘体的横向内部且竖向上形成在所述电容器电极内衬之间以构成由所述竖直相对的电容器对中的个别者中的竖直相对的电容器共享的共享电容器电极。