[发明专利]从联氨除去湿气的方法在审
| 申请号： | 201780068327.4 | 申请日： | 2017-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN110325260A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 清水秀治;马克·W·瑞农;丹尼尔·J·丹贝尔;罗宾·加德纳;小丹尼尔·阿尔瓦莱斯 | 申请（专利权）人： | 曼瑟森三汽油公司 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02;B01D53/26 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 张全信;赵蓉民 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及气相与液相干燥的技术领域。具体而言，本发明涉及从联氨中除去湿气(以及氧前驱物)的方法，由此提供适用于气相沉积的高纯度气体来源。气相沉积包括但不限于化学气相沉积(CVD)或原子层沉积(ALD)。 | ||
| 搜索关键词： | 湿气 气相沉积 联氨 化学气相沉积 高纯度气体 原子层沉积 前驱物 | ||
【主权项】：
1.一种从联氨中除去湿气的方法，包括：使含湿气的联氨接触清除剂，其中所述清除剂包含支持体，所述支持体与活性清除部分结合，所述活性清除部分选自由碱金属化合物、碱土金属化合物、金属氧化物、金属氢氧化物，以及硅基材料所组成的群组中的一个或多个。
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