[发明专利]声表面波滤波器以及多工器

摘要

滤波器(15)具备切割角为θ°的LiTaO3压电层(227)、高声速支承基板(228)、低声速膜(226)以及IDT电极(22)，根据IDT电极(22)的波长λ、IDT电极(22)的膜厚TIDT、IDT电极(22)的比重ρ、电极占空比D、压电层(227)的厚度TLT以及低声速膜(226)的膜厚TVL求出瑞利波的杂散成为极小的压电层(227)的最佳切割角θB，压电层(227)的切割角θ(°)满足θB‑4≤θ≤θB+4的关系。

主权项

1.一种声表面波滤波器，具备：LiTaO₃压电层，切割角为θ°；高声速支承基板，传播的体波的声速与在所述LiTaO₃压电层传播的弹性波的声速相比为高速；低声速膜，配置在所述高声速支承基板与所述LiTaO₃压电层之间，传播的体波的声速与在所述LiTaO₃压电层传播的弹性波的声速相比为低速；以及IDT电极，形成在所述LiTaO₃压电层上，将构成所述IDT电极的一对梳状电极的重复周期设为波长λ，其单位为μm，将所述一对梳状电极的膜厚设为T_IDT，其单位为μm，将所述IDT电极的比重设为ρ，其单位为g/cm³，将所述一对梳状电极的电极占空比设为D，将所述LiTaO₃压电层的厚度设为T_LT，其单位为μm，将所述低声速膜的膜厚设为T_VL，其单位为μm，在该情况下，瑞利波的杂散成为极小的所述LiTaO₃压电层的最佳切割角θ_B由以下式1规定，最佳切割角θ_B的单位为°，[数学式1]所述LiTaO₃压电层的切割角θ满足以下式2的关系，切割角θ的单位为°，[数学式2]θ_B‑4≤θ≤θ_B+4       (式2)。