[发明专利]用于晶片检验临界区域的产生的方法及系统

摘要

本发明揭示一种方法，其包含：接收一或多组晶片数据；从所述一或多组晶片数据中的一或多个层中的一或多个形状识别一或多个基元；将所述一或多个基元中的每一者分类为特定基元类型；识别所述一或多个基元中的每一者的一或多个基元特性；产生所述一或多个基元的基元数据库；基于所述基元数据库来产生一或多个规则；接收一或多组设计数据；将所述一或多个规则应用于所述一或多组设计数据以识别一或多个临界区域；及产生用于检验子系统的包含所述一或多个临界区域的一或多个晶片检验方案。

主权项

1.一种用于产生晶片检验的一或多个晶片检验方案的系统，其包括：检验子系统；及控制器，其通信地耦合到所述检验子系统，其中所述控制器包含经配置以执行存储于存储器中的一组程序指令的一或多个处理器，其中所述程序指令经配置以致使所述一或多个处理器：接收一或多组晶片数据，其中所述一或多组晶片数据包含一或多个层，其中所述一或多个层包含一或多个形状；从所述一或多个形状识别一或多个基元；将所述一或多个基元中的每一者分类为特定基元类型；识别所述一或多个基元中的每一者的一或多个基元特性；产生所述一或多个基元的基元数据库，其中所述基元数据库包含所述一或多个基元中的每一者的所述特定基元类型及所述一或多个基元特性；基于所述基元数据库来产生一或多个规则；接收一或多组设计数据；将所述一或多个规则应用于所述一或多组设计数据以识别一或多个临界区域；及产生用于所述检验子系统的一或多个晶片检验方案，其中所述一或多个晶片检验方案包含所述一或多个临界区域。