[发明专利]传感器以及操作传感器的方法有效
| 申请号： | 201780068846.0 | 申请日： | 2017-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN109891205B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | T.罗茨尼克;S.Y.余;G.亚马 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00;G01J5/04;G01J5/08;G01J5/02;G01J5/06;G01J5/20;G01F1/699;G01F1/68 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 殷超;傅永霄 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了传感器以及操作传感器的方法。传感器包括具有第一表面的衬底；连接到衬底的盖结构，盖结构配置成限定盖结构的内表面与衬底的第一表面之间的腔体，盖结构配置成阻挡红外辐射从盖结构的外部进入腔体；多个吸收器，所述多个吸收器中的每一个吸收器连接到衬底的第一表面，并且布置在腔体内的相应位置处且配置成吸收腔体内的相应位置处的红外辐射；以及多个读出电路，所述多个读出电路中的每一个读出电路连接到所述多个吸收器中的相应吸收器，并且配置成提供指示由相应吸收器吸收的红外辐射量的测量信号。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 以及 操作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种传感器，包括：具有第一表面的衬底；连接到所述衬底的盖结构，所述盖结构配置成限定所述盖结构的内表面与所述衬底的所述第一表面之间的腔体，所述盖结构配置成阻挡红外辐射从所述盖结构的外部进入所述腔体；多个吸收器，所述多个吸收器中的每一个吸收器连接到所述衬底的所述第一表面，并且布置在所述腔体内的相应位置处且配置成吸收所述腔体内的所述相应位置处的红外辐射；以及多个读出电路，所述多个读出电路中的每一个读出电路连接到所述多个吸收器中的相应吸收器，并且配置成提供指示由所述相应吸收器吸收的红外辐射量的测量信号。
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