[发明专利]补偿光学系统中的物理效应有效
| 申请号： | 201780069369.X | 申请日： | 2017-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109923384B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | R·J·拉法克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/58 | 分类号： | G01J1/58;G01B9/02;G01B7/12;G01N21/27 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;董典红 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 估计离开声光材料的光束的波前；生成用于包括声光材料的声光系统的控制信号，该控制信号基于估计的光束的波前；以及将该控制信号施加到声光系统以生成在声光材料中传播的频率啁啾声波，该频率啁啾声波在声光材料中形成瞬态衍射元件，瞬态衍射元件和光束之间的相互作用调节光束的波前以补偿光束的波前的畸变，波前的畸变至少部分地由声光材料中的物理效应引起。 | ||
| 搜索关键词： | 补偿 光学系统 中的 物理 效应 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：估计离开声光材料的光束的波前；生成用于包括所述声光材料的声光系统的控制信号，所述控制信号基于估计的所述光束的所述波前；以及将所述控制信号施加到所述声光系统，以生成在所述声光材料中传播的频率啁啾声波，所述频率啁啾声波在所述声光材料中形成瞬态衍射元件，所述瞬态衍射元件和所述光束之间的相互作用调节所述光束的所述波前，以补偿所述光束的所述波前的畸变，所述波前的所述畸变至少部分地由所述声光材料中的物理效应引起。
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