[发明专利]研磨液以及研磨方法有效
| 申请号： | 201780069668.3 | 申请日： | 2017-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN110072956B | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 松尾贤;松山雅之;堀内干正;熊谷彰记 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14;H01L21/306;B24B37/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的研磨液包含氧化锰的磨粒、高锰酸根离子和纤维素系表面活性剂或阳离子表面活性剂，pH为5～11。上述纤维素系表面活性剂优选为羧甲基纤维素或其衍生物。所述阳离子表面活性剂还优选具有季铵离子部位。上述纤维素系表面活性剂或上述阳离子表面活性剂的浓度还优选相对于上述研磨液的总量为0.01质量％～1.0质量％。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种研磨液，其包含氧化锰的磨粒、高锰酸根离子和纤维素系表面活性剂或阳离子表面活性剂，其pH为5～11。
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