[发明专利]耐腐蚀组件和制造方法有效
| 申请号： | 201780070875.0 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN109963825B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | M.辛普森;R.迪瓦卡;A.菲勒 | 申请（专利权）人： | 阔斯泰公司 |
| 主分类号： | B32B18/00 | 分类号： | B32B18/00;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677;H01J37/32;C23C24/08;C04B35/645 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 肖靖泉 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种配置成与半导体加工反应器一起使用的耐腐蚀组件，该耐腐蚀组件包括：a)陶瓷绝缘基底；和b)与陶瓷绝缘基底结合的白色耐腐蚀无孔外层，所述白色耐腐蚀无孔外层具有至少50μm的厚度、至多1％的孔隙率和包含基于耐腐蚀无孔层的总重量至少15重量％稀土化合物的组成；和，c)在白色耐腐蚀无孔外层的平坦表面上测量的至少90的L*值。还公开了制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀 组件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.配置成与半导体加工反应器一起使用的耐腐蚀组件，该耐腐蚀组件包括：a)陶瓷绝缘基底；和，b)与陶瓷绝缘基底结合的白色耐腐蚀无孔外层，所述白色耐腐蚀无孔外层具有至少50μm的厚度、至多1％的孔隙率、和包含基于耐腐蚀无孔层的总重量至少15重量％稀土化合物的组成；以及，c)在白色耐腐蚀无孔外层的平坦表面上测量的至少90的L*值。
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