[发明专利]亚分辨率衬底图案化的方法

摘要

本文中公开的技术提供了一种用于衬底图案化的方法，该方法得到非均匀间距(混合间距)的线。技术还可以通过选择性地替换多线层中的材料线来实现高级图案化选项。形成具有三种不同材料的交替线的多线层。使用一个或更多个蚀刻掩模来选择性地去除至少一条未被覆盖的线而不去除其他未被覆盖的线。利用填充材料来替换去除材料。使用蚀刻掩模以及使不同材料线的抗蚀刻性不同来执行选择性去除。

主权项

1.一种使衬底图案化的方法，所述方法包括：在衬底的下层上形成多线层，所述多线层包括具有第一材料、第二材料和第三材料的交替线图案的区域，其中，每条线具有水平厚度、垂直高度，并且跨所述下层水平地延伸，其中，所述交替线图案的每条线从所述多线层的顶表面垂直地延伸至所述多线层的底表面；在所述多线层上形成第一蚀刻掩模，所述第一蚀刻掩模未覆盖所述交替线图案的一部分；去除所述多线层的所述第一材料的未被所述第一蚀刻掩模覆盖的部分；利用从所述多线层的所述顶表面垂直地延伸至所述多线层的所述底表面的填充材料替换所述第一材料的去除部分；以及去除所述第一蚀刻掩模，得到具有四种不同的材料的所述多线层。