[发明专利]确定基板的表面轮廓的方法、装置和系统有效
| 申请号： | 201780071355.1 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109983301B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | J-L·苏;K·埃卢马莱;E·S·白;S·斯如纳乌卡拉苏;D·拉贾帕克萨 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B11/25 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了用于确定基板表面轮廓的系统、装置和方法。在一个实施例中，一种方法包括以下步骤：从沿着所述基板的第一侧的多个位置跨所述基板的所述表面投射具有垂直分量/轮廓的信号；在位于所述基板的所述表面对面的多个对应位置中的每一个位置处捕捉所述经投射信号；和使用所述捕捉到的信号来确定所述基板的表面轮廓。所述过程可使用控制器来自动化，所述控制器具有沿着基板的对应侧的预定的投射和捕捉位置，其中可通过控制器使用捕捉到的信号来自动确定基板的表面轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 表面 轮廓 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定基板的表面轮廓的方法，包括以下步骤：从沿着所述基板的第一侧的多个位置跨所述基板的顶表面投射具有垂直轮廓的信号；在沿着所述基板的第二侧的多个对应位置中的每个位置处捕捉所述经投射的信号，所述第二侧定位在所述基板的所述表面的对面；和使用所述捕捉到的信号来确定所述基板的表面轮廓。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780071355.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于弯曲的表面的能焊接的应变传感器
- 下一篇：使用单侧视觉接口的导航辅助系统
