[发明专利]研磨用组合物在审
| 申请号： | 201780072039.6 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN109996853A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 土屋公亮;浅田真希 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨用组合物，其是包含纤维素衍生物的组成，且能有效降低研磨后的表面缺陷。本申请提供一种研磨用组合物，其包含磨粒、碱性化合物及表面保护剂。上述表面保护剂包含纤维素衍生物与乙烯醇系分散剂。上述表面保护剂的分散性参数α低于100。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨用组合物 表面保护剂 纤维素衍生物 碱性化合物 表面缺陷 研磨 分散剂 分散性 乙烯醇 磨粒 申请 | ||
【主权项】：
1.一种研磨用组合物，其是包含磨粒、碱性化合物及表面保护剂的研磨用组合物，其中，所述表面保护剂包含纤维素衍生物与乙烯醇系分散剂，所述表面保护剂的分散性参数α低于100。
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