[发明专利]吹扫储料器有效

专利信息
申请号: 201780072480.4 申请日: 2017-12-08
公开(公告)号: CN109983568B 公开(公告)日: 2023-02-28
发明(设计)人: 藤原义明;佐野豪一;德本光哉 申请(专利权)人: 村田机械株式会社
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 舒艳君;田军锋
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 吹扫储料器具有多个包含通过吹扫气体对进行了载置储存容器的内部进行吹扫处理的多个吹扫架的架区域。吹扫储料器具备:针对每个架区域调整吹扫气体向多个吹扫架供给的供给流量的流量调整部、输送储存容器的输送装置、和对由输送装置进行的储存容器的输送进行控制的控制部。控制部在分布有大于或等于一个架区域所含的吹扫架的架数亦即规定架数的空架的情况下,以新形成所含的多个吹扫架全部为空架的空架区域的方式,执行通过输送装置移送储存容器的换架控制。
搜索关键词: 吹扫储 料器
【主权项】:
1.一种吹扫储料器,具有多个架区域,所述架区域包含通过吹扫气体对进行了载置储存容器的内部进行吹扫处理的多个吹扫架,所述吹扫储料器具备:针对每个所述架区域调整所述吹扫气体向多个所述吹扫架供给的供给流量的流量调整部、输送所述储存容器的输送装置、和对由所述输送装置进行的所述储存容器的输送进行控制的控制部,在分布有大于或等于一个所述架区域所含的所述吹扫架的架数亦即规定架数的空架的情况下,所述控制部执行通过所述输送装置移送所述储存容器的换架控制,以新形成所含的多个所述吹扫架全部为空架的空架区域。
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