[发明专利]多层布线板的制造方法有效
| 申请号： | 201780073228.5 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN109997418B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 松浦宜范;佐藤哲朗;中村利美;柳井威范 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/46 | 分类号： | H05K3/46;H01L23/12 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种多层布线板的制造方法，其包括如下工序：交替形成布线层及绝缘层，从而制作多层层叠体的工序；在多层层叠体的一个面夹着可溶性粘合层层叠增强片的工序，其中，在增强片与多层层叠体相对的相对区域内存在未形成可溶性粘合层的非占有区域；使能够将可溶性粘合层溶解的液体浸入非占有区域，使可溶性粘合层溶解或软化的工序；及在可溶性粘合层的位置将增强片从多层层叠体剥离，从而得到多层布线板的工序。根据该方法，能够不使局部大幅弯曲地增强多层布线层，由此能够提高多层布线层的连接可靠性和多层布线层表面的平坦性(共面性)。另外，也能够将施加至多层层叠体的应力最小化并且以极短的时间进行发挥了作用的增强片的剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 布线 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多层布线板的制造方法，其包括如下工序：交替形成布线层及绝缘层，从而制作多层层叠体的工序；在所述多层层叠体的一个面夹着可溶性粘合层层叠增强片的工序，其中，在所述增强片与所述多层层叠体相对的相对区域内存在未形成可溶性粘合层的非占有区域；使能够将所述可溶性粘合层溶解的液体浸入所述非占有区域，使所述可溶性粘合层溶解或软化的工序；及在所述可溶性粘合层的位置将所述增强片从所述多层层叠体剥离，从而得到多层布线板的工序。
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