[发明专利]具有抑制的寄生模式的MEMS谐振器有效
| 申请号： | 201780073620.X | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN110024285B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 维莱·卡亚卡里 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/00;H03H9/15;H03H9/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 唐京桥;杨林森 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了具有改善的电气特性和减少的寄生谐振的MEMS谐振器。MEMS谐振器包括两个或更多个第一矩形谐振器板，其中长度大于其各自的宽度。此外，MEMS谐振器包括被定位成沿MEMS谐振器的横向方向与第一谐振器板平行的两个或更多个第二矩形谐振器板。第二谐振器板的长度不同于第一谐振器板的长度，以减少寄生谐振。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 抑制 寄生 模式 mems 谐振器 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统(“MEMS”)谐振器，包括：多个第一谐振器板，每个第一谐振器板具有宽度W1和长度L1，其中，所述长度L1>所述宽度W1；以及多个第二谐振器板，每个第二谐振器板具有宽度W2和长度L2，其中，所述长度L2>所述宽度W2，其中，所述多个第一谐振器板和所述多个第二谐振器板被设置成沿所述MEMS谐振器的横向方向彼此平行，并且其中，所述长度L1不等于所述长度L2。
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