[发明专利]用于图案化配置的方法和系统有效
| 申请号： | 201780073895.3 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110023839B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | V·维拉恩基;陈炳德 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/36;G06F30/392;G06F30/398 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种方法，包括：获得具有多个设计图案多边形的器件设计图案布局；由计算机自动识别所述器件设计图案布局中的多边形的单位单元；识别所述器件设计图案布局内所述单位单元的多次出现以构建层级；和由所述计算机通过将设计用于所述单位单元的光学邻近校正重复地应用至所述层级中的所述单位单元的所述出现从而对所述器件设计图案布局执行光学邻近校正。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 图案 配置 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：获得包括多个设计图案多边形的器件设计图案布局；由计算机自动识别所述器件设计图案布局中的多边形的单位单元；识别所述器件设计图案布局内所述单位单元的多次出现以构建层级；和由所述计算机通过将设计用于所述单位单元的光学邻近校正重复地应用至所述层级中的所述单位单元的多次出现对所述器件设计图案布局执行光学邻近校正。
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