[发明专利]使半导体制品的制造用的化学溶液流动时与化学溶液接触的构件

摘要

提供：使为液体、气体或粉粒体的绝缘性物质流动时与绝缘性物质接触的构件、且不易引起绝缘击穿的构件；使用了该构件或包含该构件的用于衬里配管内或罐内的片的、流通机构、罐和装置；液体接触部的表面的一部分由前述构件形成的储罐；使用该储罐的有机溶剂、超纯水、过氧化氢水、特别是半导体制造用的有机溶剂、超纯水、过氧化氢水的储存方法；和，使用以前述储罐储存的有机溶剂的半导体制品的制造方法。将包含基质树脂、和分散于基质树脂中的导电性材料的树脂组合物用作使为液体、气体或粉粒体的绝缘性物质流动时与绝缘性物质接触的构件。

主权项

1.一种构件，其为使半导体制品的制造用的化学溶液流动时与所述化学溶液接触的构件，其由包含基质树脂、和分散于基质树脂中的导电性材料的树脂组合物形成，所述基质树脂为氟树脂，所述导电性材料为纳米碳材料，所述树脂组合物中的所述导电性材料的含量为1质量％以下，所述构件的体积电阻率为10⁶Ω·cm以下，吹送300℃以上的热风，使由四氟乙烯与1‑全氟烷氧基‑1,2,2‑三氟乙烯的共聚物形成的焊接材料熔融从而进行构件的焊接的情况下，能以焊接速度50mm/分钟以上且300mm/分钟以下进行焊接。