[发明专利]测试系统有效
| 申请号： | 201780074186.7 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN110023773B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 浜田贵之;坂本阳一 | 申请（专利权）人： | 新东工业株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李慧;王玮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及测试系统。测试系统是实施被试验设备的电特性试验的测试系统，具备：载置被试验设备的载置台；搬送载置台的搬送机构；包含用于进行电特性试验的测定电路的测试头；用于使被试验设备的电极与测定电路连接的探测器；使载置台沿着第一方向移动，由此使电极与探测器接触或者分离的升降机构；以及被设置于测试头，在与第一方向交叉的平面上移动探测器，由此进行探测器与电极在平面中的对位的对准机构。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 系统 | ||
【主权项】：
1.一种测试系统，是实施被试验设备的电特性试验的测试系统，具备：载置台，载置所述被试验设备；搬送机构，搬送所述载置台；测试头，包含用于进行所述电特性试验的测定电路；探测器，用于将所述被试验设备的电极连接于所述测定电路；升降机构，使所述载置台沿着第一方向移动，由此使所述电极与所述探测器接触或者分离；以及对准机构，被设置于所述测试头，在与所述第一方向交叉的平面上使所述探测器移动，由此进行所述探测器与所述电极在所述平面中的对位。
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