[发明专利]用于抛光有机膜的浆料组合物和使用其抛光有机膜的方法有效
| 申请号： | 201780074614.6 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110023433B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 金廷熙;姜东宪;崔正敏;俞龙植 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/18 | 分类号： | C09G1/18;B24B57/02;H01L21/304;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 曲在丹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的一种用于抛光有机膜的浆料组合物，其包括氧化剂、有机酸、包含衍生自马来酸或马来酸酐的重复单元的抛光促进剂和水，其中该抛光促进剂以低于有机酸的重量被包括。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 抛光 有机 浆料 组合 使用 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于抛光有机膜的浆料组合物，其包括：氧化剂；有机酸；抛光促进剂，其包含衍生自马来酸或马来酸酐的重复单元；和水，其中，所述抛光促进剂以小于所述有机酸的重量存在。
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