[发明专利]用于检查样本的方法和带电粒子多束装置有效
| 申请号： | 201780074730.8 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110214361B | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 于尔根·弗洛森;彼得·克鲁伊特 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司;代尔夫特理工大学 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/153 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用带电粒子束装置中的初级带电粒子小束的阵列检查样本的方法。方法包括以下步骤：用带电粒子束发射器产生初级带电粒子束；用初级带电粒子束照射多孔透镜板，以产生初级带电粒子小束的阵列；利用至少两个电极校正场弯曲，其中至少两个电极包括孔开口；用透镜将初级带电粒子小束引导朝向物镜；引导初级带电粒子小束穿过布置在透镜内的偏转器阵列；其中透镜和偏转器阵列的组合作用引导初级带电粒子小束穿过物镜的无彗差点；和利用物镜将初级带电粒子小束聚焦在样本上的不同位置上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 样本 方法 带电 粒子 束装 | ||
【主权项】：
1.一种利用带电粒子束装置中的初级带电粒子小束的阵列检查样本的方法，利用带电粒子束源的带电粒子束发射器产生初级带电粒子束；利用所述初级带电粒子束照射多孔透镜板，以产生被聚焦的所述初级带电粒子小束的阵列；利用至少两个电极校正所述带电粒子束装置的场弯曲，其中所述至少两个电极包含孔开口；利用透镜将所述初级带电粒子小束引导朝向所述带电粒子束装置的物镜；引导所述初级带电粒子小束穿过布置在所述透镜内的偏转器阵列；其中所述透镜和所述偏转器阵列的组合作用引导所述初级带电粒子小束穿过所述带电粒子束装置的所述物镜的无彗差点；和利用所述物镜将所述初级带电粒子小束聚焦在所述样本上的不同位置上，以同时在所述不同位置处检查所述样本。
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