[发明专利]超纯水制造装置以及超纯水制造装置的运转方法在审
| 申请号： | 201780076079.8 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110049952A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 港康晴;中马高明 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | C02F1/58 | 分类号： | C02F1/58;B01D61/00;B01D61/44;C02F1/20;C02F1/32;C02F1/42;C02F1/44;C02F1/469;C02F9/02;C02F9/04;C02F9/12 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 陈曦;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种超纯水制造装置(1)，其包括：预处理装置(2)、一次纯水制造装置(3)以及子系统(4)。一次纯水制造装置(3)包括：槽(5)、紫外线氧化装置(6)、铂族金属催化剂树脂塔(7)、再生型离子交换装置(8)以及膜式脱气装置(9)。子系统(4)包括：子槽(11)、对从该子槽(11)供应的一次纯水进行处理的紫外线氧化装置(12)、铂族金属催化剂树脂塔(13)、膜式脱气装置(14)、非再生型混床式离子交换装置(15)以及超滤(UF)膜(16)。铂族金属催化剂树脂是使铂族金属负载于载体树脂而得到的，特别优选使铂族金属的纳米级粒径的粒子负载于载体树脂而得到的铂族金属催化剂树脂。基于该超纯水制造装置(1)，通过在子系统(4)中具备紫外线氧化装置(12)和铂族金属催化剂树脂塔(13)，能够抑制过氧化氢去除能力的下降。 | ||
| 搜索关键词： | 铂族金属催化剂 超纯水制造装置 紫外线氧化装置 树脂塔 纯水制造装置 离子交换装置 铂族金属 脱气装置 载体树脂 再生型 树脂 膜式 子槽 纳米级粒径 预处理装置 过氧化氢 粒子负载 超滤 混床 去除 优选 运转 | ||
【主权项】：
1.一种超纯水制造装置，其包括：一次纯水装置，具有紫外线氧化装置、再生型混床式离子交换塔或电去离子装置、以及膜式脱气装置；以及子系统，对从所述一次纯水装置获得的一次纯水进行处理，所述子系统具有紫外线氧化装置、铂族金属催化剂树脂塔、以及膜式脱气装置，在所述超纯水制造装置中，在所述一次纯水装置的紫外线氧化装置的后级设置铂族金属催化剂树脂塔。
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